桃園縣政府環境保護局12月19日才在日月光半導體中壢廠放流口裝設水質連續監控設施，20日就偵測到日月光中壢廠放流口排放之廢水ph值超標。由於該公司在規定期間內向環保局通報，且做出緊急應變和改善措施，環保局雖未告發和罰處，但仍提醒日月光方面加強設施維護與正常操作，以免損害公司形象。
縣府環保局雖未告發，但還是依規定要求日月光中壢廠需在5天內，提出改善完成報告，報送環保局。桃園縣政府環境保護局19日邀請專家學者，會同環保署北區督察大隊，前往日月光中壢廠進行空、水、廢等污染防治設備和處理設施進行功能評鑑總體檢，經由一整天的深度稽查後。環保局為確認日月光中壢廠污水處理設施正常操作，也於19日晚上完成放流口水質連續監控設施裝設，24小時掌握廢水排放狀況，若有違法情事即可立即掌握，藉此督促一切操作正常。
就在監測設施裝設完成的第二天，環保局20日上午8點30分就接收到監測設備異常通報。環保局立即派員前往現場稽查，稽查人員抵達現場採樣檢測結果，pH值為10.3，超出6-9的標準值。但是，在11點25分再次檢測時，pH值7.4就已恢復正常，與檢測設備的監測值相同。顯示24小時監測設備確實發揮監測和通報的功能。
由於日月光中壢廠的資深工程師發覺廠內污水處理設施出現狀況時，於上午11點02分將異常狀況通報到環保局。因為在異常狀況規定的3小時的內向環保單位通報，且立即採取緊急應變處理，並迅速完成改善。因此，環保局並未告發；但仍提醒公司方面加強設施正常操作與維護，以免損害公司形象。