擔任總統科學獎委員會召集人的中央研究院長翁啟惠受訪表示，盧志遠在8吋晶圓產製能力有非常卓越成就，對台灣高科技產業基礎有重要貢獻，因此獲獎。
他說，總統科學獎並不限於學術界，這次首次頒給產業界人士，也希望產業界重視研發，將部分利潤投入。
盧志遠在1989年主持「經濟部次微米計畫」，4年內即趕上國際廠商進度，並跨過次微米技術鴻溝，獨立完成自主研發並量產的DRAM技術。
盧志遠說，半導體產業未來挑戰很多，只要有先進國家真的創新、突破，並落實量產，就會對經濟有巨大幫助，台灣半導體業目前仍坐二望一，只要政府支持，人才一棒接一棒，產業前景仍看好。
每兩年頒發一次的總統科學獎，自民國90年開始舉辦，分數理科學、生命科學、應用科學、社會科學 4組給獎。其中，社會科學組包括今年已連續2次從缺。
歷次16位得主都是中研院士，今年首度有非中研院士，且不是學者，而是來自產業界的科技專家獲獎。1021204