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愛德萬電子束微影系統獲訂單

中央商情網/ 2013.10.22 00:00
(中央社記者鍾榮峰台北2013年10月22日電)測試設備大廠愛德萬測試(Advantest)表示,全新F7000電子束微影系統系列獲三筆訂單挹注。

愛德萬測試指出,全新F7000電子束微影系統,獲得產學界下單肯定,三筆訂單分別來自日本東京大學、京都大學與一家半導體客戶。

在交貨時程上,愛德萬測試表示,預訂於2014年3月結束的會計年度內,陸續完成交貨。

在客戶應用上,愛德萬測試表示,目前這三家F7000系列客戶,除將此系統應用在半導體晶圓和其他類型與尺寸的基板研究外,還將運用於微機電(MEMS)/非機電系統(NEMS)、生物晶片、創新元件、電子零組件等領域的技術開發。

愛德萬測試表示,F7000系列利用電子束技術,將精細接腳間距圖樣直接寫入基板,可為半導體研發關注的1Xnm製程,提供測試產能。

愛德萬測試表示,此套系統具備自動清洗功能與調整器功能,前者可確保設備長期穩定運作效能,後者支援不同尺寸、形狀、材料的基板測試。

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