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漢微科推新機台 競爭力再升

中央社/ 2013.09.03 00:00
(中央社記者許湘欣台北3日電)電子束檢測設備大廠漢微科第4季將推出結合蛙跳式與連續式掃描兩大優勢的新機台eScan500,董事長許金榮表示,半導體廠偏好採用漢微科的設備。

當過台股股王的漢微科近來股價一度跌破800元大關,更面臨美商科磊隔空喊話競爭,指電子束與光學檢測的互補組合,才是晶圓製程控制(process control)的最佳解決方案。

不過,目前在電子束檢測設備獨占鰲頭的漢微科老神在在,許金榮今天在接受媒體訪問時指出,就電子束檢測效能來說,半導體廠仍偏好採用漢微科的設備。

漢微科第4季將推出結合蛙跳式與連續式掃描兩大優勢的新機台eScan500,檢測速率大增,競爭力可望進一步提升。

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