Air Products 在國際半導體展上展示先進材料與供應系統

在 SEMICON Taiwan 國際半導體展上，Air Products 將會展出半導體製造的三大重要平台：先進沉積、表面預處理與洗清以及平坦化，以及這些先進材料必備的供應系統。

先進沉積材料 (Advanced Deposition Materials)

Air Products 善用其在化學與表面科學的廣博知識，將薄膜沉積至僅幾層原子層之薄。該公司也針對有機矽烷、有機金屬化合物、摻雜物化學品以及其它專業材料提供前瞻技術解決方案。

表面預處理與洗清 (Surface Preparation and Cleans)

Air Products 提供溶劑、半水洗或水洗清潔液，用來清除鋁製及銅製後段製程應用的光阻劑、殘餘物與污染物。該公司也提供用於各類封裝的清潔解決方案，適用於包括金線與銅線封裝、使用銅凸塊的晶圓級封裝及直通矽晶穿孔封裝清潔。

平坦化 (Planarization)

Air Products 正在開發化學機械平坦化研磨液以及清潔後化學用品，以應付清潔各類沉積物質的挑戰，包括矽基膜、鎢以及銅。透過2011年收購 Poly-Flow 設備業務，Air Products 同時提供嶄新的研磨混合液與配送設備解決方案，透過提升設備動用率與產品良率，以降低成本。

Air Products 主管先進材料與供應系統全球副總裁 Edward Shober 表示：「亞洲是 Air Products 的策略性市場，佔我們全球電子業務的銷售超過60%。我們在化學、材料整合與供應系統方面的經驗與先進思維，幫助客戶更快速達成技術與績效目標。此外，可在這些半導體平台內為客戶提供更多整合解決方案，也成為我們在這個市場裡的優勢。」

欲瞭解詳情，請到台北南港展覽館第 M150號攤位參觀，或請瀏覽 www.airproducts.com/semiconductors。

關於Air Products

Air Products（紐約證交所代號：APD）提供一般工業用氣體、製程與特殊氣體、高性能材料、設備與技術。七十餘年來，公司讓客戶得以提高產能，並讓能源運用更有效率、更能配合可持續發展的需要。在50多國的20,000多位員工，為能源、環境及新興市場提供創新解決方案。這些包括半導體材料、精鍊氫、煤氣化、天然氣液化以及先進塗料與黏合劑。在2012年會計年度，Air Products 的營業額接近100億美元。欲瞭解詳情，請瀏覽www.airproducts.com。

關於三福氣體 (Air Products San Fu Co., Ltd.)

三福氣體是台灣首屈一指的工業氣體供應商，為業界提供一般工業用氣體、電子專用氣體、化學品與設備。欲瞭解詳情，請瀏覽www.airproducts.com.tw。

註：本新聞稿可能包涵1995年私人證券訴訟改革法 (Private Securities Litigation Reform Act of 1995) 中安全港條款 (safe harbor) 定義之前瞻聲明。此等前瞻性聲明，憑據的是管理階層截至本新聞稿當日針對重大風險所作之合理預期與假設。由於管理階層無法預期到許多因素，包括公司針對2012年9月30日截止之會計年度提報的10K 年報中所述之風險因素，因此實際績效與財務成果可能大不同於前瞻性聲明中所表述的推估與預測。

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消息來源 Air Products