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半導體曝光機鏡片

中央社/ 2013.04.16 00:00
國家實驗研究院儀器科技研究中心16日展示口徑152mm的半導體曝光機鏡片，未來透過國研院的整合，將有機會發展高階光學元件與系統在地製造。中央社記者謝佳璋攝

102年4月16日

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