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東芝和NuFlare獲大河內紀念生產獎

中央商情網/ 2013.02.19 00:00
(中央社2013年2月19日電)根據美國商業資訊,東芝公司(Toshiba Corporation) (TOKYO:6502)和NuFlare Technology, Inc. (NFT) (JASDAQ:6256)因共同開發並實際應用電子束(EB)光罩直寫設備(mask writer),榮獲第59屆大河內紀念生產獎(The 59th Okochi Memorial Grand Production Prize),頒獎典禮將於3月22日在東京舉行。

大型積體電路(LSI)使用平版印刷工具製造,用途為將主電路圖案投射到晶圓上並進行收縮。主電路圖案最初透過電子束光罩直寫設備寫入光罩上。以往,大部分電子束光罩直寫設備都使用點波束來寫入圖案,但需要透過縮放LSI使其變小。這就增加光罩的寫入時間,成為提高光罩製作效率的主要難題。

東芝和NFT合力開發出一種實用的電子束光罩直寫設備,其寫入精度和效率均有所提高。該電子束光罩直寫設備利用了可變形狀束(VSB)光罩寫入方法,可將電子束塑造成所需形狀填充到圖案中。

兩家公司研製一種新穎的公式與計算系統,能夠更快、更精準地校正近距離效果,避免出現來自光罩基板的散射電子改變電子束曝光,從而降低光罩圖樣精確度的現象。傳統技術需要數天時間進行計算,從而將目標計算誤差控制在0.5%以內。新公式將計算時間縮短到1小時內,從而能夠將即時計算與圖案寫入(電子束掃描和工具階段性運動)進行調整。

高亮度電子來源的開發與應用縮短光罩寫入時間。這點是透過改善電子來源材料和操作條件來提升亮度(一定時間內釋放出的電子數量)而實現的。這最終將電子束曝光到光罩上所需的時間縮短了95%,進而大幅縮短寫入時間。

雙方公司將繼續促進創新技術,以期滿足對精度和效率更高的光罩直寫設備高漲的需求。

關於東芝東芝是一家全球領先的多元化製造商、解決方案供應商以及先進電子電器產品行銷商。東芝集團的創新和影像處理業務非常廣泛,包括:數位產品,包括LCD電視、筆記型電腦、零售解決方案和多功能事務機(MFP);電子產品,包括半導體、儲存產品和材料;工業和社會基礎建設系統,包括發電系統、智慧社區解決方案、醫療系統以及扶手電梯和升降機;以及家用電器。

東芝成立於1875年,如今經營有一個由550多家各級公司組成的全球網路,在全球擁有202,000名員工,年銷售額逾6.1萬億日圓(約合740億美元)。請造訪東芝網站:www.toshiba.co.jp/index.htm

聯絡方式:東芝半導體 & 儲存產品公司Megumi Genchi / Kunio Noguchi, +81-3-3457-3367 semicon-NR-mailbox@ml.toshiba.co.jp

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