檢視第三季財報，漢微科因設備出貨排程遞延影響，單季營收季減4%至10.27億元，毛利率67.7%、營益率36.4%，毛利率與營益率均較第二季的69.1%、40.2%下滑；稅前純益為3.74億元，稅後淨利3.48億元，季減14.4%，單季每股稅後純益5.25元。
累計今年前三季營收為30.11億元，年增69.3%，毛利率68.1%、營益率37.4%，毛利率與營益率較去年同期的58.1%、21.6%上揚，稅前純益為11.35億元，稅後淨利10.28億元，較去年同期成長110%，每股稅後純益16.33元。
目前全球半導體大廠對電子束檢測設備的需求相當大，漢微科一年30台的產能已有供不應求的狀況，今年下半年公司南科廠將進行擴產，年底前將擴充至50台。目前客戶包含台積電、聯電、三星、海力士、東芝，以及英特爾等全球15大半導體大廠設備供應鏈。