艾司摩爾（ASML Holding NV NL-ASML）今天在聲明稿中表示，三星將以5億300萬歐元收購艾司摩爾3%股權，並額外投資2億7600萬歐元，用於研發下一代微影技術（next-generation lithography）。
艾司摩爾表示，三星（Samsung Electronics Co. KR-005930）的加入，使7月宣布的所謂共同投資專案臻於完整，艾司摩爾不再計畫徵求額外的客戶參與這項專案。
英特爾（Intel Corp. US-INTC）、台積電（2330）及三星同意用現金38億5000萬歐元收購艾司摩爾共計23%的少數股權，這是專案計畫中的一部分。
根據這項投資計畫，艾司摩爾將加速研發極紫外光（EUV）技術。在增加手機及平板電腦等裝置的晶片容量和速度之際，EUV將用於協助縮小晶片尺寸。（譯者：中央社實習編譯何宜霖）