台積電宣佈加入ASML專案，斥資8.38億歐元取得ASML股權5%，加速下一世代關鍵半導體製造技術—極紫外光(EUV)微影技術與450mm（18吋）晶圓微影設備的開發及量產。
摩根大通證券表示，正向看好台積電後市，台積電和英特爾在及時商品化和EUV技術應可站在同等地位。雖然EUV技術未來4-5年可能僅應用於10奈米，因此台積電不急於將EUV技術商品化。不過，摩根大通證券看好台積電運用資金槓桿，預估可提升股東權益報酬率，因此給予加碼評等。
巴克萊證券則指出，投資ASML將有助於台積電採用下一世代EUV技術在晶圓代工領導地位，不過由於台積電將以75%溢價高於平均5年價格購買ASML(歐元的基礎)，台積電不能獨享研發結果，仍需要承擔研發風險，而投資和匯率仍有風險，預估台積電可能需要募集250-300億元債務融資在ASML投資，重申持有評等和目標價84元。