ASML上月宣布，將邀請國際半導體大廠合組近十四億歐元的研發基金，並預計將釋出最多二五％股權讓客戶入股，以加速十八吋晶圓及極紫外光(EUV)微影技術開發。其中，英特爾已決定投資六成，其餘四成則向包括台積電、三星、格羅方德(GlobalFoundries)等大廠籌資。
由十二吋晶圓進階到十八吋晶圓，將可使晶片單位成本下降三、四成之多。英特爾先前就表示，此投資是讓十八吋晶圓及EUV微影技術設備的安裝及建置時間縮短二年，以達到大幅削減生產成本的目標。外界預期若合作順利，二○一四年半導體產業就可進入十八吋晶圓新世代。
台積電此次將投資ASML取得五％股權，若加計英特爾取得ASML十五％股權，等於占ASML預計釋出二五％股權的八成，此舉代表全球半導體一線大廠針對下一世代半導體技術的策略聯盟，已大致底定。
台積電執行副總蔣尚義表示，挹注ASML研發經費將確保並加快EUV微影技術的開發，同時也能提高既有光學微影工具的效能，促進十八吋晶圓製造技術快速發展。這項努力將有助半導體產業控制晶圓成本，保障摩爾定律持續演進可帶來的經濟效益。
ASML將分兩階段釋出最多二五％股權進行籌資，第一階段釋出十％，由英特爾全數認購；第二階段釋出剩下的十五％股權，英特爾認購五％，其餘十％由其它大廠參與投資。