中央大學理學院長李正中領導的團隊研發「三合一」薄膜測量器，一台檢測儀可同時檢測薄膜厚度、折射率和表面輪廓，大幅降低成本並節省作業時間，且不破壞樣品。研究成果去年發表在2011年國際光學期刊「Optics Letter」，儀器也在今年6月台北國際光電展中展出。
李正中指出，相機、攝影機、3C產品，甚至是人造衛星等需要光學元件的產品，都需要薄膜技術，但鍍膜後更需要量測，才能確保品質。
他提到，過去量測薄膜的表面輪廓、薄膜厚度及折射率等數據，必須依靠儀器檢測，但每台只能量測1或2項功能，且要價數百萬元，因此必須購買多台儀器，既不經濟也耗費時間。
研究團隊根據光學原理，完成可垂直取得薄膜與基板表面的反射相位，並完成三合一量測的實驗儀器。在不破壞樣品下，儀器就可量測薄膜厚度、折射率和表面輪廓，同時有抗震動的優點，可用於生產線上檢測。
李正中指出，「三合一」薄膜測量器結合3項量測功能，可節省成本、時間，可說是薄膜科技的革命性改革。現在正申請台灣、美國和日本的專利，也吸引不少國外廠商來洽談，他希望有機會能和國內廠商合作，相信在硬體設備上可為廠商年省數百萬元。