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三合一測量器 薄膜科技新革命

中央商情網/ 2012.07.03 00:00
(中央社記者許秩維台北2012年7月3日電)相機、智慧型手機等3C產品,都需薄膜技術和檢測儀器來監控品質,但儀器動輒要價新台幣數百萬元。中央大學團隊研發「三合一」薄膜測量器,可幫助廠商硬體設備年省數百萬元。

中央大學理學院長李正中領導的團隊研發「三合一」薄膜測量器,一台檢測儀可同時檢測薄膜厚度、折射率和表面輪廓,大幅降低成本並節省作業時間,且不破壞樣品。研究成果去年發表在2011年國際光學期刊「Optics Letter」,儀器也在今年6月台北國際光電展中展出。

李正中指出,相機、攝影機、3C產品,甚至是人造衛星等需要光學元件的產品,都需要薄膜技術,但鍍膜後更需要量測,才能確保品質。

他提到,過去量測薄膜的表面輪廓、薄膜厚度及折射率等數據,必須依靠儀器檢測,但每台只能量測1或2項功能,且要價數百萬元,因此必須購買多台儀器,既不經濟也耗費時間。

研究團隊根據光學原理,完成可垂直取得薄膜與基板表面的反射相位,並完成三合一量測的實驗儀器。在不破壞樣品下,儀器就可量測薄膜厚度、折射率和表面輪廓,同時有抗震動的優點,可用於生產線上檢測。

李正中指出,「三合一」薄膜測量器結合3項量測功能,可節省成本、時間,可說是薄膜科技的革命性改革。現在正申請台灣、美國和日本的專利,也吸引不少國外廠商來洽談,他希望有機會能和國內廠商合作,相信在硬體設備上可為廠商年省數百萬元。

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