〔自由時報記者洪友芳／新竹報導〕國內半導體設備廠漢微科（3658）投入電子束檢測設備研發多年，近10年來，陸續取得美日韓等半導體廠訂單，躍為全球電子束（E-Beam）檢測設備最大廠商，董事長許金榮形容，漢微科是「十年磨一劍」，有苦盡甘來之感。
漢微科預計5月21日以每股200元掛牌上櫃，將是國內有史以來股價最高的設備廠。
半導體廠投資1座廠動輒達千億元，但設備龐大商機向來是國外設備廠商的天下。過去半導體檢測設備以光學檢測為主，主要設備供應商有科磊（KLA）、應用材料等，其中KLA市佔率高達70-80%，可說一家獨大。
1998年成立於美國矽谷的漢民微測，花了5年時間才成功研發出第1台檢測設備，許金榮表示，初期晶圓廠仍慣用國外廠商的設備，為了讓客戶願意培養第2家設備供應商，漢微科只好將設備搬移到客戶廠內，讓客戶試用，結果設備性能勝過國外供應商，才有機會取得訂單。
漢微科第1家取得訂單的客戶是晶圓代工龍頭廠台積電，2年後日本、韓國等半導體廠陸續跟進下單，打破晶圓檢測設備長期由美日廠商壟斷市場的局面。
目前漢微科的客戶群包括晶圓代工廠及記憶體廠，例如台積電、聯電（2303）、GF、中芯、三星、海力士、東芝、IBM等，英特爾也可望將為客戶，漢微科在電子束檢測設備市佔率已高達80%，遙遙領先科磊等國外設備廠。
檢測設備主要是對晶圓進行掃描檢測缺陷，找出缺陷並進而幫助提高良率，許金榮指出，因光學檢測解析度有限，約在65奈米製程就會遭遇瓶頸，該公司的電子束檢測採跳躍式結合電子槍技術，適用40、28、20奈米等先進製程晶圓缺陷檢測，目前技術約領先同業競爭者一個世代，毛利率逾60%。
半導體成長雖趨緩，但許金榮表示，先進製程仍是晶圓廠及記憶體廠投資佈局的重心，估每5000片產能就需搭配1台電子束檢測設備，市場需求可望持續增加，加上電子束檢測設備進入門檻較高，漢微科在專利與技術領先業界，未來雖會有客戶資本支出縮減、同業技術突破等挑戰，但仍具競爭力，營運成長可期。
漢微科成立的前10年因客戶及銷售有限，持續處於虧損期，一度還減資，直到2010年才轉虧為盈，去年因開發美國市場有成，更獲利6.52億元，超過資本額6億元，每股盈餘10.87元。
目前漢微科股價躍為興櫃股王，今年第1季稅後盈餘2.74億元、每股盈餘4.49元，今年因三星、台積電資本支出大增，下單設備台數增加，漢微科接單能見度達今年底，預計營運獲利將超越去年。