台積電2005年起全面推動綠建築，並承諾未來所有新建廠房或辦公大樓，都將全數依據最新的綠建築標準來規劃興建。
台積電表示，位於南部科學工業園區的晶圓14廠第3期及第4期廠房，與位於新竹科學工業園區的晶圓12廠第4/5期廠房和辦公大樓已陸續獲得能源與環境設計先導─新建工程(LEED-NC)的黃金級標章。
此外，台積電還獲得3座台灣EEWH鑽石級綠建築，是國內擁有最多綠建築肯定的企業。
為進一步提升綠建築效益，希望能以更完整的基地規劃、最佳化的能源共享，以減少成本、設備與資源的浪費，並創造工業成長與環境的共生共榮，台積電自2010年底開始發展綠色園區政策。
台積電規劃將竹科、中科及南科廠區打造成綠色園區；台積電表示，目前竹科晶圓12廠及南科的晶圓14廠已順利完成目標。