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成大自動虛擬量測 提升產值

中央社/ 2012.02.02 00:00
(中央社記者許秩維台北2日電)成功大學研究團隊研發全自動虛擬量測技術,改善零件原本只能抽測和浪費時間的問題,還可即時監測,可幫助半導體、面板和太陽能產業,每年增加2000萬到3000萬美元的產值。

研究團隊負責人、成功大學E化製造研究中心主任鄭芳田表示,為節省成本,傳統的晶圓廠採取抽檢方式進行品質監測,但這樣不但無法進行全面控管,只要花5、6分鐘生產的晶圓,還得耗費4個小時才能得出抽測結果。

鄭芳田表示,團隊研發的全自動虛擬量測技術,利用生產機台的參數進行虛擬量測,不只讓抽檢變成全檢,還可進行線上和即時監測,而且只需花費幾秒鐘,可幫助產業每年增加2000萬到3000萬美元的產值。

全自動虛擬量測技術現已取得台灣、中國大陸、美國、日本和韓國等5國專利。鄭芳田說,已和科技公司合作技轉,未來會將技術商品化,希望能推銷到全世界。

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