研究團隊負責人、成功大學E化製造研究中心主任鄭芳田表示，為節省成本，傳統的晶圓廠採取抽檢方式進行品質監測，但這樣不但無法進行全面控管，只要花5、6分鐘生產的晶圓，還得耗費4個小時才能得出抽測結果。
鄭芳田表示，團隊研發的全自動虛擬量測技術，利用生產機台的參數進行虛擬量測，不只讓抽檢變成全檢，還可進行線上和即時監測，而且只需花費幾秒鐘，可幫助產業每年增加2000萬到3000萬美元的產值。
全自動虛擬量測技術現已取得台灣、中國大陸、美國、日本和韓國等5國專利。鄭芳田說，已和科技公司合作技轉，未來會將技術商品化，希望能推銷到全世界。