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Gigaphoton開始量產最新機型KrF光源「G60K」

中央社/ 2021.12.02 13:51

Gigaphoton開始量產最新機型KrF光源「G60K」

(中央社訊息服務20211202 13:51:02)藉由採用光源新技術,為提升運作率和永續因應做出極大貢獻

栃木縣小山市--(美國商業資訊)--半導體微影光源製造商 Gigaphoton株式會社(總公司: 栃木縣小山市;總裁:浦中克己)宣布開始量產新型KrF曝光機用光源「G60K」。

在全球半導體依舊短缺的情況下,受到用於RF通信處理和車載半導體等40nm前成熟節點 (node) 的半導體需求大增,以及採用3D NAND生產技術後層數的增加使容量得以擴大,預計直到2023年為止,KrF微影需求將增加240%(與2019年相比)。*

自從2020年11月出貨以來,受到廣大用戶肯定的Gigaphoton新型KrF微影光源G60K,為了回應大量的需求,已於今年11月開始量產。G60K的最大特徵在於,提升業界所追求的運作率和提供環境永續性。透過60瓦高輸出以提升曝光機處理能力,同時藉由提升模組耐久性來降低維修機率,以實現運作率的提高。改良後的新型電源,可減低超過5%的耗電量,為用戶提供永續性的同時還可降低成本。此外,G60K平台最多可擴充到輸出90瓦,還可因應後續擴增總處理能力 (throughput) 的需求。

Gigaphoton總裁兼CEO浦中克己表示:「Gigaphoton也投入開發投資成熟製程節點世代,透過提供運用最尖端技術的產品,為提升客戶運作率和永續性做出貢獻。」

* 在本公司分析KrF曝光機處理半導體晶片數

按一下此處瀏覽上一次的 G60K 新聞稿

Gigaphoton公司簡介

Gigaphoton作為開發和生產半導體微影DUV光源先驅企業,從成立初期便對全球半導體製造商,提供運用最尖端技術的多項解決方案。此外,Gigaphoton也積極投入開發EUV光源及微影以外領域的DUV光源。Gigaphoton從產品研發到生產、銷售及維護始終站在用戶立場,以具備豐富知識與經驗的專業集團之姿,為用戶提供業界最高水準的支援。

詳細資訊請參閱網站www.gigaphoton.com 

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新聞公關聯絡窗口:

GIGAPHOTON

經營企畫部

大石憲司

TEL: +81-285-37-6931

Email: [email protected]

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