為提升台灣半導體前瞻技術產業競爭力，科技部3/20發出聲明指出，全力配合科技產業之各項前瞻佈局，例如全力協助台積電於台南科學園區規劃設置5奈米先進製程廠房；這項設廠規畫案已於106年1月通過環評大會環差審查，台積電將投資5000億元建廠，預計於106年下半年開始動工，108年上半年試產，預估可增加5000名就業人口，帶動地方發展。
科技部指出，有關台積電3奈米先進製程規劃，屬於台積電營運之長程規劃，科技部與台積電高層溝通管道順暢，目前雙方持續就台積電之未來擴廠需求密切研商。陳部長良基於今（3/20）日與張董事長忠謀電話聯繫，張董事長特別強調，台積電目前規劃以投資臺灣為優先，並無赴美投資設廠之計畫。
面對未來科技前瞻技術之發展，科技部指出，科技部將積極協調地方政府與相關部會，就廠商未來所需用水、用電、土地等環境相關因素預先規劃，全力配合台積電先進製程之設廠需求，並積極建構人才培育、科技發展之優質環境，使高科技廠商得以安心在臺投資。